Iye Alailẹgbẹ ti Micropowder Silikoni Carbide Green ninu Ile-iṣẹ Semiconductor
Ilé iṣẹ́ semiconductor ti jẹ́ ọ̀kan náà pẹ̀lú ìmọ̀ ẹ̀rọ gíga, pẹ̀lú àwọn ènìyàn tí wọ́n sábà máa ń jíròrò àwọn kókó ọ̀rọ̀ gíga bíi ẹ̀rọ photolithography àti ṣíṣe àgbékalẹ̀ chip. Síbẹ̀síbẹ̀, láàárín iṣẹ́ yìí, àwọn ohun èlò kan tí ó dàbí pé wọn kò ṣe pàtàkì ló ń kó ipa pàtàkì.Micropulu silikoni carbide alawọ ewejẹ́ ọ̀kan lára irú àwọn ohun èlò bẹ́ẹ̀. Lónìí, ẹ jẹ́ kí a jíròrò ohun èlò pàtàkì yìí, tí ó ń ṣiṣẹ́ lọ́nà jẹ́ẹ́jẹ́ẹ́ nípasẹ̀ iṣẹ́ ṣíṣe semiconductor.
Ẹ jẹ́ kí n bẹ̀rẹ̀ pẹ̀lú ìtàn kan tó dùn mọ́ni. Ní ọdún tó kọjá, mo lọ sí ibi ìfihàn ìṣòwò ilé iṣẹ́ semiconductor kan. Níbi ìjókòó kan tí kò fi bẹ́ẹ̀ ṣe kedere, ọ̀pọ̀ àwọn onímọ̀ ẹ̀rọ ń sọ̀rọ̀ nípa ohun èlò ìlọ. Nígbà tí mo ń fetísílẹ̀ dáadáa, mo gbọ́ tí wọ́n ń sọ̀rọ̀ nípa “micropowder silicon carbide aláwọ̀ ewé.” Ó yà mí lẹ́nu nígbà náà; ó dún bí abrasive ilé iṣẹ́ ìbílẹ̀, nítorí náà báwo ni a ṣe lè so ó pọ̀ mọ́ semiconductor tó péye? Lẹ́yìn náà, mo wá rí i pé nínú ilé iṣẹ́ yìí, bí ohun èlò náà bá ṣe rọrùn tó, bẹ́ẹ̀ náà ni yóò ṣe ṣe pàtàkì tó.
Kí ni ohun èlò kékeré silicon carbide aláwọ̀ ewé? Ní ṣókí, ó jẹ́ ohun èlò líle tí ènìyàn ṣe, tí a yọ́ nínú iná mànàmáná oníwọ̀n otútù gíga láti inú àwọn ohun èlò bíi quartz sand àti petroleum coke. Ó gba orúkọ rẹ̀ nítorí ìwẹ̀nùmọ́ gíga rẹ̀ àti àwọ̀ ewéko tí ó yàtọ̀. Má ṣe fojú kéré àwọn èròjà kéékèèké wọ̀nyí; líle wọn jẹ́ èkejì sí diamond, síbẹ̀ wọ́n ní ìdúróṣinṣin ooru àti àìlera kẹ́míkà tí ó ga jùlọ.
Nínú iṣẹ́ àgbékalẹ̀ semiconductor, ìdúró wafer ní tààrà ló ń pinnu ìyọrísí ërún. Èyí ló mú wa dé orí òye pàtàkì tisilikoni carbide alawọ ewelulú oníná: ìpara oníná kẹ́míkà (CMP). Lao Zhang, onímọ̀ ẹ̀rọ iṣẹ́ ní ilé iṣẹ́ wafer fab, lo àfiwé tó ṣe kedere: “Ó dà bíi fífún wafer ní ‘ìtọ́jú ojú’—pípa àwọn ìṣùpọ̀ àti àìdọ́gba mọ́ láìsí ìfọ́. Micropowder silicon carbide aláwọ̀ ewé dàbí àwọn èròjà microcrystalline nínú ìtọ́jú awọ ara tó ga jùlọ—ó jẹ́ onírẹ̀lẹ̀ síbẹ̀ ó gbéṣẹ́.” Ní tòótọ́, nínú ṣíṣe chip, kódà ìdá mẹ́wàá micron kan tí kò dọ́gba lè fa ìyípo kúkúrú tàbí ṣíṣí sílẹ̀.
Ìṣàkóso ooru jẹ́ ìpèníjà tí ó ń bá a lọ ní ilé iṣẹ́ semiconductor. Bí ìṣọ̀kan chip ṣe ń pọ̀ sí i, ìtújáde ooru ń di ohun tí ó hàn gbangba sí i.Micropulu silikoni carbide alawọ ewení ọgbọ́n àrà ọ̀tọ̀ nípa èyí: fífi kún àwọn ohun èlò ìdarí ooru mú kí ìdarí ooru pọ̀ sí i. Onímọ̀ ẹ̀rọ ooru kan ní ilé-iṣẹ́ chip kan tí a mọ̀ dáadáa sọ fún mi pé, “A ń lo micropowder silicon carbide aláwọ̀ ewé pàtàkì kan báyìí nínú ẹ̀rọ ooru wa tí ó ga jùlọ, èyí tí ó mú kí ìdarí ooru pọ̀ sí i ní ohun tí ó ju 20% lọ.” Èyí jẹ́ olùgbàlà ẹ̀mí nínú àwọn ìmọ̀ ẹ̀rọ ilana 5nm àti 3nm.”
Ẹ̀rọ micropowder silicon carbide aláwọ̀ ewé jẹ́ ohun pàtàkì jù nínú iṣẹ́ ṣíṣe ẹ̀rọ semiconductor. Ọ̀pọ̀lọpọ̀ àwọn èròjà pàtàkì nínú ẹ̀rọ lithography àti ẹ̀rọ ìfọṣọ, èyí tí ó lè ná mílíọ̀nù yuan, nílò ìṣedéédé ẹ̀rọ gíga gan-an. Fún àpẹẹrẹ, àwọn ètò opitika ti àwọn ẹ̀rọ lithography nílò dígí gíga gan-an, èyí tí ó nílò lílo micropowder silicon carbide aláwọ̀ ewé fúnlilọ deedee. Onímọ̀ṣẹ́gun kan tó ti ní ìrírí ogún ọdún sọ pé, “Lílo ohun èlò yìí gba àkókò púpọ̀. Ó ṣe pàtàkì láti ṣàkóso ìwọ̀n àwọn èròjà, ìfọ́pọ̀, àti iye pH; kódà ìyàtọ̀ díẹ̀ lè ní ipa lórí àbájáde ìkẹyìn.”
Ó ṣe pàtàkì láti kíyèsí pé pẹ̀lú ìdàgbàsókè àwọn ohun èlò semiconductor ìran kẹta, micropowder silicon carbide aláwọ̀ ewé ti rí ohun èlò tuntun kan. Àwọn ẹ̀rọ semiconductor tí a fi silicon carbide ṣe fúnra wọn nílò micropowder silicon carbide aláwọ̀ ewé fún lílọ àti dídán nígbà tí a bá ń ṣe é. Ó jẹ́ ìyípo tí ó dùn mọ́ni—lílo silicon carbide láti ṣe silicon carbide. Olùdarí ìmọ̀ ẹ̀rọ ilé-iṣẹ́ ohun èlò tuntun semiconductor rẹ́rìn-ín ó sì wí pé, “Ó dà bí lílo diamond láti gé diamond; bí àwọn ohun èlò ṣe lè lóye ara wọn dáadáa.”
Ẹ̀rọ micropowder silicon carbide aláwọ̀ ewé tún ń kó ipa àrà ọ̀tọ̀ nínú ìṣàkóso dídára. Àwọn ilé iṣẹ́ semiconductor nílò ìtọ́jú àwọn ohun èlò déédéé, pàápàá jùlọ ìwẹ̀nùmọ́ àwọn ìlà conveyor àti àwọn yàrá ìṣiṣẹ́. Nítorí pé ẹ̀rọ micropowder silicon carbide aláwọ̀ ewé kò ṣiṣẹ́ dáadáa, kò sì ní àwọn ohun ìbàjẹ́ tuntun, ó jẹ́ ohun èlò tí a fẹ́ràn jùlọ fún àwọn ìlànà ìwẹ̀nùmọ́. Onímọ̀ ẹ̀rọ ìtọ́jú kan sọ pé, “Ní ìfiwéra pẹ̀lú àwọn abrasives mìíràn,micropulu silikoni alawọ ewe carbidekò fi àwọn ion irin sílẹ̀ lórí àwọn ògiri inú àwọn ohun èlò, èyí tí ó ṣe pàtàkì fún ṣíṣe àtúnṣe àyíká mímọ́ nígbà tí a bá ń ṣe àwọn ërún.
Dájúdájú, gbogbo ohun èlò ní ààyè fún àtúnṣe. Àwọn ìpèníjà lọ́wọ́lọ́wọ́ tí ń dojúkọ micropowder silicon carbide aláwọ̀ ewé ni pàtàkì nínú ìṣàkóso iye owó àti ìdúróṣinṣin dídára. Ìlànà ìṣẹ̀dá dídíjú àti lílo agbára gíga ń ṣe àfikún sí iye owó gíga rẹ̀. Jù bẹ́ẹ̀ lọ, ìdúróṣinṣin láàárín àwọn ẹgbẹ́ jẹ́ àníyàn pàtàkì fún àwọn olùlò. Síbẹ̀síbẹ̀, ọ̀pọ̀lọpọ̀ àwọn ilé iṣẹ́ abẹ́lé ti ń yanjú àwọn ọ̀ràn wọ̀nyí, wọ́n ń dín àlàfo pẹ̀lú àwọn ọjà tí wọ́n kó wọlé kù díẹ̀díẹ̀ nípa mímú àwọn ìlànà ìṣẹ̀dá àti àwọn ètò ìṣàkóso dídára sunwọ̀n síi.
Ní wíwo ọjọ́ iwájú, bí ìmọ̀ ẹ̀rọ semiconductor ṣe ń yípadà sí àwọn iṣẹ́ kékeré àti ìpele ìṣọ̀kan gíga, ìbéèrè fún micropowder silicon alawọ ewe carbide yóò máa tẹ̀síwájú láti dàgbàsókè. Èyí jẹ́ òótọ́ ní pàtàkì ní àwọn ẹ̀ka tuntun bíi àwọn chips artificial intelligence chips, 5G communication chips, àti autonomous drivering chips, èyí tí ó ń gbé àwọn ìbéèrè gíga sí ìṣedéédé àti iṣẹ́ ìtújáde ooru. Èyí ṣí àwọn ohun èlò tí ó gbòòrò sílẹ̀ fún micropowder silicon alawọ ewe carbide.
Mo rántí ìgbà kan tí ó ń sọ pé, “Iṣẹ́ semiconductor dà bí yìnyín. Ohun tí àwọn ènìyàn ń rí ni àwòrán chip àti iṣẹ́ ọnà ńláńlá tí ó wà lókè ojú ilẹ̀, nígbà tí àwọn ohun èlò, ìlànà, àti ohun èlò tí ó wà lábẹ́ ojú ilẹ̀ náà jẹ́ ìpìlẹ̀ tí ó ń ṣe àtìlẹ́yìn fún gbogbo iṣẹ́ náà.” Ẹ̀rọ micropowder silicon carbide aláwọ̀ ewé jẹ́ apá pàtàkì nínú àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ wọ̀nyí. Ó lè má jẹ́ ohun tí ó fani mọ́ra bí ẹ̀rọ lithography, ṣùgbọ́n àwọn ohun èlò “tí kò hàn gbangba” wọ̀nyí ni ó ń ṣe àtìlẹ́yìn fún ìdàgbàsókè gbogbo iṣẹ́ semiconductor.
Nígbà tí o bá tún lo fóònù alágbèéká tàbí tí o bá ń wakọ̀ ọkọ̀ ayọ́kẹ́lẹ́ ọlọ́gbọ́n, o lè ronú nípa èyí pé lẹ́yìn àwọn ọjà ìmọ̀-ẹ̀rọ gíga wọ̀nyí ni àfikún àwọn ohun èlò “tí kò ṣeé gbàgbọ́” bíi micropowder silicon carbide aláwọ̀ ewé. Ó ṣe tán, ìlọsíwájú gbogbo iṣẹ́ kò ṣeé yà sọ́tọ̀ kúrò lára àwọn “akọni tí wọ́n wà lẹ́yìn ìṣẹ̀lẹ̀” tí kò sọ̀rọ̀, tí wọ́n sì fi ara wọn fún ara wọn.